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テクニカルサポート
| 使用溫度 | R.T.～400℃ |
|---|---|
| 溫度精度 | ±5℃ |
| 雰囲気 | Air、N2（Option） |
| クリーン度 | Class 1000 |
| フィルム幅 | 600～1200mm |
| 搬送張力 | 10～100N |
用途
- 二層FCCLポリイミド本乾燥～熱硬化工程
- ポリイミドフィルム水分乾燥工程
- 各種透明耐熱フィルムのアニール工程
均一加熱
裝置専用に開発したヒーターと加熱爐構造により、遠赤外線ヒーターと同時に雰囲気溫度を安定化することができ、細かな溫度プロファイル設定が可能です。
搬送時のカール、皺問題の解消
加熱に伴う、製品のカールや皺等の諸問題に対応した裝置設計を盛り込んでいます。
加熱空間のメンテナンス性向上
爐體上部を大きく開口する機構を採用し、裝置稼動前のフィルム通紙作業および定期メンテナンスを容易にしました。
仕様
| ゾーン | 加熱ゾーン | 冷卻ゾーン | |
|---|---|---|---|
| 方式 | 遠赤外線加熱 | 間接放射冷卻 | |
| 性能 | 使用溫度範囲 | 50～400℃ | 400～25℃ |
| 爐內溫度分布精度 | ±2.0℃ | - | |
| 雰囲気安定時間 | 約60min（無負荷狀態） | ||
| 対応雰囲気ガス | N2、大気 | ||
| 構成 | 外壁材 | SS、焼付け塗裝 | |
| 內壁材 | SUS304 | SUS、アルミニウム | |
| 斷熱材 | ロックウール | - | |
| 冷卻筒 | - | ラジエターフィン（AL） | |
| 加熱 | ヒーター | 遠赤外線ヒーター | - |
| 溫度制御方式 | TICのマイクロコンピューターによるPID制御 | - | |
| ヒーター制御回路 | SSR | - | |
| 雰囲気コントロール | 給気口 | ヒーター表面 | - |
| 排気口 | 排気口 | - | |
| ガスカーテン | 入口1箇所 | 出口1箇所 | |
| 流量計 | 爐內用5本、ガスカーテン用２本 | ||
| 搬送 | 形式 | ノンタッチ搬送、フリーローラー搬送、ローラー駆動搬送の何れか | |
| 材質 | ローラー SUS304 | ||
| 駆動裝置（OP） | サーボモーター、スピードコントローラー付き | ||
| 安全裝置 | 溫度異常、ファン異常、O2ガス濃度上昇異常、獨立過昇防止器、漏電警報、エア圧異常、非常停止 | ||
| オプション | 6打點記録計、100Vコンセント、タールトラップ、タッチパネル、ヒーター斷線警報 | ||
寸法?ユーティリティー
| 型式 | NIR-506 | NIR-1006 | NIR-10011 |
|---|---|---|---|
| 外形寸法(mm) | 1550W×6700L×1480H | 1550W×12630L×1480H | 2000W×12630L×1400H |
| 加熱部寸法(mm) | 5000L | 10000L | 10000L |
| 冷卻部寸法(mm) | 1000L | 2000L | 2000L |
| 有効巾(mm) | 600W | 600W | 1100W |
| パスライン(mm) | 850H | 850H | 850H |
| 電源(200V) | 三相/130KVA | 三相/255KVA | 三相/442KVA |
| 圧縮エア(kg/cm2) | 5 | 5 | 5 |
| N2ガス最大使用量(リットル/min) | 700 | 1400 | 2100 |
| 冷卻水（リットル/min) | 2 | 3 | 5 |
溫度プロファイル例
酸素濃度変化例
